Yêu cầu về độ tinh khiết: Loại bỏ các nguồn gây ô nhiễm cho việc chế tạo vi mạch tiên tiến
Việc sản xuất vi mạch, chất bán dẫn và các thiết bị vi điện tử tiên tiến khác phụ thuộc vào việc cung cấp các loại khí đặc biệt có độ tinh khiết cực cao (UHP). Sự hiện diện của ngay cả những dấu vết nhỏ của oxy, hơi ẩm hoặc các hạt vật chất trong dòng khí có thể dẫn đến các khuyết tật nghiêm trọng trong quá trình, làm cho toàn bộ lô wafer trở nên vô dụng. Trong môi trường đòi hỏi khắt khe này, bản thân vật liệu đường ống phải là một nguồn đảm bảo độ tinh khiết, không phải là nguồn gây ô nhiễm. Tổ chức của chúng tôi chuyên cung cấp Ống thép không gỉ được xử lý và chứng nhận để đáp ứng các tiêu chuẩn UHP tuyệt đối do ngành công nghiệp bán dẫn yêu cầu, đảm bảo việc cung cấp khí không có lỗi, không bị ô nhiễm, rất quan trọng cho biên giới công nghệ.
Quy trình nhiều bước để đạt được trạng thái UHP
Để đạt được trạng thái UHP trong đường ống thép không gỉ, cần kiểm soát nghiêm ngặt toàn bộ chuỗi cung ứng, từ nhà máy đến khâu đóng gói cuối cùng:
Vật liệu nền cao cấp (VAR/VIM): Chúng tôi tập trung vào các loại thép không gỉ (chủ yếu là 316L) thường được sản xuất thông qua phương pháp nung chảy cảm ứng chân không (VIM) hoặc nung chảy hồ quang chân không (VAR). Các kỹ thuật nung chảy tiên tiến này loại bỏ các tạp chất và các hạt không kim loại bên trong cấu trúc thép, giảm khả năng thoát khí hoặc bong tróc hạt sau này.
Chuẩn bị hàn quỹ đạo chính xác: Ống UHP được cung cấp với các đầu cắt vuông, không có gờ, được làm sạch tỉ mỉ và chuẩn bị cho việc hàn quỹ đạo tự động. Kỹ thuật hàn này tạo ra một mối hàn bên trong cực kỳ nhẵn, đồng đều, loại bỏ các khe hở bên trong hoặc các điểm gồ ghề nơi các chất gây ô nhiễm có thể tích tụ hoặc các hạt có thể phát sinh.
Đánh bóng cơ học và hóa học (Bề mặt bên trong): Bề mặt bên trong của ống UHP thường được đánh bóng cơ học hoặc hóa học để đạt được độ hoàn thiện như gương (ví dụ: Ra $leq 0.1 mutext{m}$). Bề mặt siêu mịn này giảm thiểu diện tích bề mặt có sẵn để hấp thụ khí (thoát khí) và đảm bảo các hạt không thể bám dính, tạo điều kiện làm sạch và sấy khô nhanh chóng bên trong ống.
Làm sạch và thụ động hóa cuối cùng: Ống trải qua các quy trình làm sạch bên trong nghiêm ngặt, thường bao gồm việc xả nước có độ tinh khiết cao và thụ động hóa có kiểm soát (theo ASTM A380/A967 bằng cách sử dụng hóa chất có độ tinh khiết cao) để ổn định lớp thụ động và loại bỏ mọi cặn cuối cùng.
Đóng gói trong môi trường có kiểm soát: Sau khi làm sạch, ống ngay lập tức được sục khí nitơ hoặc argon có độ tinh khiết cao và được niêm phong riêng lẻ trong các nắp bịt đầu bảo vệ và túi nhựa hai lớp trong điều kiện phòng sạch. Điều này ngăn ngừa ô nhiễm khí quyển (độ ẩm và oxy) trong quá trình vận chuyển và lưu trữ, duy trì tính toàn vẹn UHP cho đến khi lắp đặt.
"Trong quá trình chế tạo chất bán dẫn, đường ống là hệ thống tinh lọc cuối cùng cho khí, và việc không đáp ứng các tiêu chuẩn UHP đồng nghĩa với việc vi mạch bị lỗi," một phát ngôn viên của tổ chức cho biết. "Cam kết của chúng tôi đối với đường ống thép không gỉ UHP đảm bảo rằng các loại khí quy trình quan trọng vẫn không có hạt, độ ẩm và ô nhiễm hydrocarbon, bảo vệ tính toàn vẹn và tỷ lệ sản lượng của sản xuất vi điện tử giá trị cao."
Ứng dụng trong phòng sạch và các cơ sở công nghệ cao
Các loại ống chuyên dụng này là không thể thiếu cho:
Đường kết nối dụng cụ: Kết nối ống góp khí trung tâm với các dụng cụ lắng đọng và khắc trong phòng sạch.
Ống góp khí nguồn: Vận chuyển hydro, nitơ có độ tinh khiết cao và các loại khí doping chuyên dụng.
Hệ thống nước có độ tinh khiết cao (PW/WFI): Đảm bảo các đường dẫn không bị rò rỉ, không bị ăn mòn cho nước quy trình.
Bằng cách tuân thủ các tiêu chuẩn UHP nghiêm ngặt này, chúng tôi hỗ trợ các quy trình sản xuất đòi hỏi công nghệ nhất trên toàn cầu, nơi chất lượng vật liệu quyết định trực tiếp khả năng tồn tại của sản phẩm.
Về Tổ chức của chúng tôi
Chúng tôi là nhà cung cấp toàn cầu đáng tin cậy, chuyên về lựa chọn toàn diện các loại ống kim loại, phụ kiện và mặt bích, bao gồm cả sản phẩm thép không gỉ và đồng thau. Cam kết về chất lượng, độ tin cậy và sự hài lòng của khách hàng, chúng tôi hỗ trợ các dự án công nghiệp và cơ sở hạ tầng phức tạp trên toàn thế giới.
Người liên hệ: Ms.
Tel: 13524668060
